Influence de l'énergie des ions et de la température de l'objet lors de l'amincissement par bombardement ionique de GaAs

research article

Spycher, R

•

Schmidt, F

•

1988

Effect ion energy and object temperature on thinning by ion bombardment of GaAs

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Helvetica_Physica_Acta_1988_61_853_856.pdf

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