research article
Influence de l'énergie des ions et de la température de l'objet lors de l'amincissement par bombardement ionique de GaAs
Effect ion energy and object temperature on thinning by ion bombardment of GaAs
Influence de l'énergie des ions et de la température de l'objet lors de l'amincissement par bombardement ionique de GaAs
Effect ion energy and object temperature on thinning by ion bombardment of GaAs