High Quality Factor Copper Inductors Integrated in Deep Dry Etched Quartz Substrates


Publié dans:
Proceedings of the 2006 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS / MOEMS, DTIP 2006
Présenté à:
DTIP 2006, Stresa, Italy, April 2006
Année
2006
Autres identifiants:
DAR: 11993
Laboratoires:




 Notice créée le 2006-05-10, modifiée le 2018-03-18


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