High Quality Factor Copper Inductors Integrated in Deep Dry Etched Quartz Substrates
2006
Détails
Titre
High Quality Factor Copper Inductors Integrated in Deep Dry Etched Quartz Substrates
Auteur(s)
Leroy, Christine ; Pisani, Marcelo B. ; Hibert, Cyrille ; Bouvet, Didier ; Puech, M. ; Ionescu, Adrian M.
Publié dans
Proceedings of the 2006 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS / MOEMS, DTIP 2006
Présenté à
DTIP 2006, Stresa, Italy, April 2006
Date
2006
Autres identifiant(s)
DAR: 11993
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > NANOLAB - Laboratoire des dispositifs nanoélectroniques
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > CMI - Centre de MicroNanoTechnologie
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > CMI - Centre de MicroNanoTechnologie
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Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Date de création de la notice
2006-05-10