Low Impedance ALD HfO2 Partially-Filled-Gap Flexural and Bulk MEMS Resonators Piezoresistively Detected for Distributed Mass Sensing


Publié dans:
Proceedings, 1, 4, 391
Année
2017
Laboratoires:


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 Notice créée le 2017-09-27, modifiée le 2019-12-05

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