Français
English
identification
Menu
Recherche
Browse Collections
Aide
Français
English
identification
Low Impedance ALD HfO2 Partially-Filled-Gap Flexural and Bulk MEMS Resonators Piezoresistively Detected for Distributed Mass Sensing
Lopez, Mariazel Maqueda
;
Casu, Emanuele Andrea
;
Fernandez-Bolanos, Montserrat
;
Ionescu, Adrian Mihai
2017
Télécharger
Fichiers
Détails
Titre
Low Impedance ALD HfO2 Partially-Filled-Gap Flexural and Bulk MEMS Resonators Piezoresistively Detected for Distributed Mass Sensing
Auteur(s)
Lopez, Mariazel Maqueda
;
Casu, Emanuele Andrea
;
Fernandez-Bolanos, Montserrat
;
Ionescu, Adrian Mihai
Publié dans
Proceedings
Volume
1
Numéro
4
Pages
391
Date
2017
DOI
https://doi.org/10.3390/proceedings1040391
Laboratoires
NANOLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences
>
STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur
>
IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering
>
NANOLAB - Laboratoire des dispositifs nanoélectroniques
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Date de création de la notice
2017-09-27
PDF
Sélectionner le fichier :
proceedings-01-00391-v2 - Postprint