Low Impedance ALD HfO2 Partially-Filled-Gap Flexural and Bulk MEMS Resonators Piezoresistively Detected for Distributed Mass Sensing
2017
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Détails
Titre
Low Impedance ALD HfO2 Partially-Filled-Gap Flexural and Bulk MEMS Resonators Piezoresistively Detected for Distributed Mass Sensing
Auteur(s)
Lopez, Mariazel Maqueda ; Casu, Emanuele Andrea ; Fernandez-Bolanos, Montserrat ; Ionescu, Adrian Mihai
Publié dans
Proceedings
Volume
1
Numéro
4
Pages
391
Date
2017
Laboratoires
NANOLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > NANOLAB - Laboratoire des dispositifs nanoélectroniques
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Travail produit à l'EPFL
Publié
Date de création de la notice
2017-09-27