Addressable MEMS slit mask for multi-object spectroscopy based on multi-wafer stacking
2011
Résumé
MEMS-based programmable slit masks are developed for multi-object spectroscopy in astronomy. Devices with 2048 tiltable micromirrors were fabricated using multiple wafer-level bonding and implemented with individual addressing of each element.
Détails
Titre
Addressable MEMS slit mask for multi-object spectroscopy based on multi-wafer stacking
Auteur(s)
Canonica, Michael ; Noell, Wilfried ; de Rooij, Nico ; Zamkotsian, Frederic ; Lanzoni, Patrick
Publié dans
Omn2011: 16Th International Conference On Optical Mems And Nanophotonics
Pages
129-130
Présenté à
16th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN), Istanbul, Turquie, Aug 08-11, 2011
Date
2011
Editeur
Ieee Service Center, 445 Hoes Lane, Po Box 1331, Piscataway, Nj 08855-1331 Usa
ISBN
978-1-4577-0336-2
Mots-clés (libres)
Autres identifiant(s)
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Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Date de création de la notice
2012-06-12