Fabrication and characterization of a silicon cantilever probe with an integrated quartz-glass (fused-silica) tip for scanning near-field optical microscopy
2001
Détails
Titre
Fabrication and characterization of a silicon cantilever probe with an integrated quartz-glass (fused-silica) tip for scanning near-field optical microscopy
Auteur(s)
Schürmann, G. ; Noell, W. ; Staufer, U. ; de Rooij, N. F. ; Eckert, R. ; Freyland, J. M. ; Heinzelmann, H.
Publié dans
Applied Optics
Volume
40
Numéro
28
Pages
5040-5045
Date
2001
Note
255
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
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Date de création de la notice
2009-05-12