Vertical co-integration of AlSi MEMS tunable capacitors and Cu inductors for tunable LC blocks
2006
Détails
Titre
Vertical co-integration of AlSi MEMS tunable capacitors and Cu inductors for tunable LC blocks
Auteur(s)
Mehdaoui, A. ; Pisani, M. B. ; Fritschi, R. ; Ancey, P. ; Ionescu, A. M.
Publié dans
MNE 2006
Date
2006
Autres identifiant(s)
DAR: 10746
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Laboratoires
NANOLAB
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Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > NANOLAB - Laboratoire des dispositifs nanoélectroniques
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Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
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Date de création de la notice
2007-05-16