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report

Déposition assistée par plasma radiofréquence dans un réacteur de grande surface: effets de la contamination particulaire et de la fréquence d'excitation

Sansonnens, L.  
1998
Type
report
Author(s)
Sansonnens, L.  
Date Issued

1998

Subjects

LRP 602

Written at

EPFL

EPFL units
CRPP  
SPC  
Available on Infoscience
April 18, 2008
Use this identifier to reference this record
https://infoscience.epfl.ch/handle/20.500.14299/23185