Micromachined ultrasonic transducers and acoustic sensors based on piezoelectric thin films
2004
Résumé
A review is given on the current state of the art in piezoelectric micromachined ultrasonic transducers (pMUT). It is attempted to quantify the limits of pMUT's with respect to the electromechanical coupling, and to relate current achievements. Main needs for future research are identified in design, micromachining and further improvements of PZT films. Applications are shortly reviewed.
Détails
Titre
Micromachined ultrasonic transducers and acoustic sensors based on piezoelectric thin films
Auteur(s)
Muralt, P. ; Baborowski, J.
Publié dans
Journal of Electroceramics
Volume
12
Numéro
1-2
Pages
101-108
Date
2004
ISSN
1385-3449
Mots-clés (libres)
Note
Muralt, P Ecole Polytech Fed Lausanne, Swiss Fed Inst Technol, Ceram Lab, CH-1015 Lausanne, Switzerland Ecole Polytech Fed Lausanne, Swiss Fed Inst Technol, Ceram Lab, CH-1015 Lausanne, Switzerland
834YY
Cited References Count:40
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Autres identifiant(s)
DAR: 5470
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Laboratoires
LC
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Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > LC - Laboratoire de céramique
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Travail produit à l'EPFL
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Date de création de la notice
2006-08-21