Composite photopolymer microstructures: From planar to 3D devices
2003
Détails
Titre
Composite photopolymer microstructures: From planar to 3D devices
Auteur(s)
Renaud, Philippe ; Metz, Stefan ; Jiguet, Sébastien ; Bertsch, Arnaud
Publié dans
BOSTON TRANSDUCERS'03: DIGEST OF TECHNICAL PAPERS
Volume
2
Pages
991-994
Présenté à
12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, BOSTON, MASSACHUSETTS, JUN 09-12, 2003
Date
2003
Autres identifiant(s)
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Laboratoires
LMIS4
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMIS4 - Laboratoire de microsystèmes 4
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Publié
Date de création de la notice
2005-09-13