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Thesis

Spark assisted chemical engraving: a stochastic modeling approach

    Thèse École polytechnique fédérale de Lausanne EPFL, n° 2776 (2003)
    Section de microtechnique
    Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur
    Institut de microtechnique
    Laboratoire de systèmes robotiques - commun
    Jury: Christos Comninellis, Patrik Hoffmann, Max-Olivier Hongler, Hans Langen, Hans Siegenthaler, Velizar Stankovic

    Public defense: 2003-6-13

    Prix du Professeur René Wasserman - Professor René Wasserman award, 2004

    Reference

    Record created on 2005-03-16, modified on 2016-08-08

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