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Thesis

Etude des plasmas organosiliciés dilués en oxygène utilisés pour la déposition d'oxyde de silicium

    Thèse École polytechnique fédérale de Lausanne EPFL, n° 2461 (2001)
    Faculté des sciences de base
    Centre de recherches en physique des plasmas
    Jury: Laïfa Boufendi, André Chatelain, Pierre Fayet, Heinrich Hofmann

    Public defense: 2001-10-12

    Reference

    Record created on 2005-03-16, modified on 2016-08-08

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