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doctoral thesis
Couches minces nanocomposites de TiN/SiNx déposées par pulvérisation magnétron réactive : propriétés électroniques, mécaniques et résistance à l'oxydation
2000
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Name
EPFL_TH2129.pdf
Access type
restricted
Size
7.54 MB
Format
Adobe PDF
Checksum (MD5)
4666bcda49030f7574827d6dd7756ab8