Déposition assistée par plasma radiofréquence dans un réacteur de grande surface effets de la contamination particulaire et de la fréquence d'excitation


Advisor(s):
Hollenstein, Christoph
Year:
1998
Publisher:
Lausanne, EPFL


Note: The status of this file is: EPFL only


 Record created 2005-03-16, last modified 2018-10-01

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