Large area fabrication of patterns of resonant waveguide gratings by electron beam lithography for up-scalable applications
2018
Détails
Titre
Large area fabrication of patterns of resonant waveguide gratings by electron beam lithography for up-scalable applications
Auteur(s)
Quaranta, Giorgio ; Guillaume, B. ; Benes, Zdenek ; Martin, Olivier J.F. ; Gallinet, Benjamin
Publié dans
Proceedings of the Progress in Electromagnetics Research Symposium (PIERS 2018)
Présenté à
Progress in Electromagnetics Research Symposium (PIERS 2018), Toyama, Japan, August 1-4, 2018
Date
2018-08-01
ISBN
978-4-885523-15-1
Mots-clés (libres)
Laboratoires
NAM
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > NAM - Laboratoire de nanophotonique et métrologie
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
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Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Date de création de la notice
2021-05-03