Photonic Damascene Process for Low-Loss, High-Confinement Silicon Nitride Waveguides
2018
Détails
Titre
Photonic Damascene Process for Low-Loss, High-Confinement Silicon Nitride Waveguides
Auteur(s)
Pfeiffer, MHP ; Herkommer, C ; Liu, J ; Morais, T ; Zervas, M ; Geiselmann, M ; Kippenberg, TJ
Publié dans
IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics
Volume
24
Numéro
4
Pages
6101411
Date
2018
Autres identifiant(s)
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Laboratoires
LPQM
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LPQM - Laboratoire de photonique et mesures quantiques (STI/SB)
Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > IPHYS - Institut de physique > LPQM - Laboratoire de photonique et mesures quantiques (STI/SB)
Publications validées par des pairs
Travail produit à l'EPFL
Articles de journaux
Publié
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Date de création de la notice
2018-11-08