Material Constants Extraction For Alscn Thin Films Using A Dual Mode Baw Resonator
2018
Résumé
Dual mode bulk acoustic wave resonators were fabricated using tilted c-axis oriented grains. In this case, longitudinal and shear modes are excited at the same time. The stiffness matrix for the tilted geometry was derived, and served to determine c(33) and c(44) from the two basic resonance frequencies. In addition, it was possible to estimate the tilting angle from the ratio of the sound velocities.
Détails
Titre
Material Constants Extraction For Alscn Thin Films Using A Dual Mode Baw Resonator
Auteur(s)
Parsapour, Fazel ; Pashchenko, Vladimir ; Nicolay, Pascal ; Muralt, Paul
Publié dans
IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
Pages
763-766
Présenté à
31st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), Belfast, NORTH IRELAND, Jan 21-25, 2018
Date
2018
Editeur
New York, IEEE
ISSN
1084-6999
ISBN
978-1-5386-4782-0
Laboratoires
LC
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > LC - Laboratoire de céramique
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Travail produit à l'EPFL
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Date de création de la notice
2018-11-08