Material Constants Extraction For Alscn Thin Films Using A Dual Mode Baw Resonator
Parsapour, Fazel; Pashchenko, Vladimir; Nicolay, Pascal; Muralt, Paul
2018

Résumé

Dual mode bulk acoustic wave resonators were fabricated using tilted c-axis oriented grains. In this case, longitudinal and shear modes are excited at the same time. The stiffness matrix for the tilted geometry was derived, and served to determine c(33) and c(44) from the two basic resonance frequencies. In addition, it was possible to estimate the tilting angle from the ratio of the sound velocities.

Détails

Titre Material Constants Extraction For Alscn Thin Films Using A Dual Mode Baw Resonator
Auteur(s) Parsapour, Fazel ; Pashchenko, Vladimir ; Nicolay, Pascal ; Muralt, Paul
Publié dans IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
Pages 763-766
Présenté à 31st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), Belfast, NORTH IRELAND, Jan 21-25, 2018
Date 2018
Editeur New York, IEEE
ISSN 1084-6999
ISBN 978-1-5386-4782-0
DOI https://doi.org/10.1109/MEMSYS.2018.8346667
Laboratoires LC
Le document apparaît dans Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > LC - Laboratoire de céramique
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Date de création de la notice 2018-11-08

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