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report
Einfluss von Plasma-physikalischen und Plasma-chemischen Eigenschaften von VHF Silan-Plasmen auf die Abscheidung von amorphem und mikrokristallinem Silizium
Hollenstein, Christoph
•
Howling, Alan
•
Dorier, Alexis
1992
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Name
INT_181_92.pdf
Access type
openaccess
Size
492.96 KB
Format
Adobe PDF
Checksum (MD5)
7859307fe541a0a1d6c4a7a6343d2b81