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Thesis

High Performance, Vertically Stacked SiNW/Fin Based 3D FETs for Biosensing Applications

    Keywords: SiNW ; FinFET ; sensor ; biosensor ; 3D ; vertically stacked ; bio-FET ; ISFET ; streptavidin ; pH sensor

    Thèse École polytechnique fédérale de Lausanne EPFL, n° 6258 (2014)
    Programme doctoral Microsystèmes et Microélectronique
    Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur
    Institut de génie électrique et électronique
    Laboratoire des dispositifs nanoélectroniques
    Jury: Prof. M. Gijs (président) ; Prof. M.A. Ionescu, Dr M. Fernandez-Bolanos Badia (directeurs) ; Dr U. Dürig, Prof. A. van den Berg, Prof. L.G. Villanueva Torrijo (rapporteurs)

    Public defense: 2014-6-27

    Reference

    Record created on 2014-06-12, modified on 2016-08-09

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