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Micromachined PZT thin film actuators for micromotors
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Micromachined PZT thin film actuators for micromot[...]
-
Kohli, Markus
et al
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1995 Kohli - actionneurs piézoélectriques MEMS - films minces PZT
version 1
1995 Kohli - actionneurs piézoélectriques MEMS - films minces PZT.pdf
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27 Jan 2018, 12:27
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