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Détails
Titre
Hot Stencils: A New Path for Resistless Nanopatterning
Auteur(s)
Xie, Shenqi
Directeur(s)
Date
2013
Editeur
Lausanne, EPFL
Mots-clés (libres)
Langue
Anglais
Autres identifiant(s)
urn: urn:nbn:ch:bel-epfl-thesis5715-0
Laboratoires
LMIS1
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMIS1 - Laboratoire de microsystèmes 1
Production scientifique et compétences > Thèses EPFL
Travail produit à l'EPFL
Publié
Thèses
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Date de création de la notice
2013-05-28