A Dual-Axis High Fill-Factor Micromirror Array for High Thermal Loads
2011
Résumé
A high fill-factor, dual-axis micromirror array with novel spring and actuator design is developed for high thermal load applications. Each pixel can attain an omnidirectional mechanical DC rotation angle of +/- 4 degrees.
Détails
Titre
A Dual-Axis High Fill-Factor Micromirror Array for High Thermal Loads
Auteur(s)
Ataman, C. ; Lani, S. ; Noell, W. ; Jutzi, F. ; Bayat, D. ; de Rooij, N.
Publié dans
Omn2011: 16Th International Conference On Optical Mems And Nanophotonics
Pages
135-136
Présenté à
16th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN), Istanbul, Turquie, Aug 08-11, 2011
Date
2011
Editeur
Ieee Service Center, 445 Hoes Lane, Po Box 1331, Piscataway, Nj 08855-1331 Usa
ISBN
978-1-4577-0336-2
Mots-clés (libres)
Autres identifiant(s)
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Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Date de création de la notice
2012-06-12