Investigation of oxidation-induced strain in a top-down Si nanowire platform
2009
Détails
Titre
Investigation of oxidation-induced strain in a top-down Si nanowire platform
Auteur(s)
Najmzadeh, Mohammad ; Bouvet, Didier ; Dobrosz, Peter ; Sarah, Olsen ; Ionescu, Mihai Adrian
Publié dans
the 16th biennial conference on Insulating Films on Semiconductors
Présenté à
INFOS 2009 (biennial), Cambridge, the UK, 28 June-1 July 2009
Date
2009
Mots-clés (libres)
Laboratoires
NANOLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > NANOLAB - Laboratoire des dispositifs nanoélectroniques
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Date de création de la notice
2012-03-01