Integration of Coplanar Barium-Strontium Titanate Tunable Capacitors on Micro-Machined Silicon
2010
Résumé
The fabrication and characterization of coplanar Barium-Strontium Titanate capacitors on Silicon are described. Micromachining was used to reduce parasitic effects stemming from the substrate, thus enhancing the performance of the device.
Détails
Titre
Integration of Coplanar Barium-Strontium Titanate Tunable Capacitors on Micro-Machined Silicon
Auteur(s)
Noeth, A. ; Yamada, T. ; Tagantsev, A. K. ; Setter, N.
Publié dans
Integrated Ferroelectrics
Volume
115
Pages
110-119
Présenté à
International Conference on Electroceramics (ICE-2009), Delhi, INDIA, Dec 13-17, 2009
Date
2010
Mots-clés (libres)
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Laboratoires
LC
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > LC - Laboratoire de céramique
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Date de création de la notice
2011-12-16