Optimization of piezoresistive cantilever sensors towards highly sensitive membrane-type surface stress sensor (MSS) and its applications
2011
Détails
Titre
Optimization of piezoresistive cantilever sensors towards highly sensitive membrane-type surface stress sensor (MSS) and its applications
Auteur(s)
Yoshikawa, G. ; Akiyama, Terunobu ; Gautsch, Sebastian ; Vettiger, Peter ; Rohrer, H.
Présenté à
The Japan Society of Applied Physics, The 72nd Fall Meeting , Yamagata, Japan, August 29-September 2, 2011
Date
2011
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Présentations & Talks
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Publié
Date de création de la notice
2011-11-28