Laser Induced Chemical Vapour Deposition Of Platinum Spots On Glass
1989
Résumé
The laser-induced pyrolytic deposition of Pt spots on glass was studied for different laser powers, beam diams., and irradn. time. Laser powers up to 500 mW give deposition rates of typically 0.5 mm/s. Temp. calcns. as a function of time allows one to study process kinetics according to the thickness and diam. of the spots. Resistivity measurements of Pt lines give comparable values to those of bulk material.
Détails
Titre
Laser Induced Chemical Vapour Deposition Of Platinum Spots On Glass
Auteur(s)
Garrido, C. ; Braichotte, D. ; Van den Bergh, H. ; Leon, B. ; Perez-Amor, M. ; Laude, Lucien D. ; Rauscher, Gerhard K.
Publié dans
Laser Assisted Processing
Série
SPIE Proceedings, 1022
Volume
1022
Pages
81
Présenté à
1988 International Congress on Optical Science and Engineering, Hamburg, Germany, 1988
Date
1989
Mots-clés (libres)
Note
CAPLUS AN 1989:506611 CAN 111:106611 76-2 Electric Phenomena Appl. Phys. Dep.,Univ. Santiago,Vigo,Spain. FIELD URL: Journal PSISDG written in English.
Autres identifiant(s)
DOI: https://doi.org/10.1117/12.950105
Laboratoires
LPAS
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > ENAC - Faculté de l'environnement naturel, architectural et construit > ENAC Archives > LPAS - Laboratoire de pollution atmosphérique et du sol
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
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Date de création de la notice
2011-02-01