Détails
Titre
A magnetically actuated MEMS scanning mirror
Auteur(s)
Burr, G.W. ; Tai, Y.C. ; Psaltis, D. ; Miller, R.A.
Publié dans
Miniaturized Systems With Micro-Optics And Micromechanics
Série
Proceedings Of The Society Of Photo-Optical Instrumentation Engineers (Spie), 2687
Pages
47-52
Présenté à
Conference on Miniaturized Systems with Micro-Optics and Micromechanics, SAN JOSE, CA, Jan 30-31, 1996
Date
1996
Editeur
Spie-Int Soc Optical Engineering, Po Box 10, Bellingham, Wa 98227-0010
Mots-clés (libres)
Autres identifiant(s)
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Laboratoires
LO
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LO - Laboratoire d'optique
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Travail hors EPFL
Papiers de conférence
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Date de création de la notice
2010-11-25