Flexible Membranes Improve Resolution in Stencil Lithography
2010
Fichiers
Détails
Titre
Flexible Membranes Improve Resolution in Stencil Lithography
Auteur(s)
Sidler, Katrin ; Vazquez-Mena, Oscar ; Villanueva, Luis Guillermo ; Savu, Veronica ; Brugger, Juergen
Publié dans
The 54th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology, & Nanofabrication
Présenté à
The 54th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology, & Nanofabrication, Anchorage, Alaska, U.S.A., June 1- 4, 2010
Date
2010
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URL
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMIS1 - Laboratoire de microsystèmes 1
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IGM - Institut de génie mécanique > NEMS - Laboratoire de systèmes nano-électromécaniques
Publications validées par des pairs
Présentations & Talks
Travail produit à l'EPFL
Publié
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IGM - Institut de génie mécanique > NEMS - Laboratoire de systèmes nano-électromécaniques
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Travail produit à l'EPFL
Publié
Date de création de la notice
2010-01-20