Characteristics of Buckled Bridges and Lifted Micromirror Using Film Stress
2006
Détails
Titre
Characteristics of Buckled Bridges and Lifted Micromirror Using Film Stress
Auteur(s)
Sasaki, M. ; Hane, K. ; Briand, D. ; Noell, W. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
IEEE/LEOS Optical MEMS 2006
Pages
82-83
Date
2006
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12