Vertically Buckled Bridges for Three-Dimensional SOI-MEMS
2003
Détails
Titre
Vertically Buckled Bridges for Three-Dimensional SOI-MEMS
Auteur(s)
Sasaki, M. ; Briand, D. ; Noell, W. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
2003 International Conference on Solid State Devices and Materials
Pages
696-697
Date
2003
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12