An Investigation of the Hydration Properties of Chemically Vapour-deposited Silicon Dioxide Films by Means of Ellipsometry
1977
Détails
Titre
An Investigation of the Hydration Properties of Chemically Vapour-deposited Silicon Dioxide Films by Means of Ellipsometry
Auteur(s)
de Rooij, N. F. ; Sieverdink, R. J. S. ; Tromp, R. M.
Publié dans
Thin Solid Films
Volume
47
Pages
211-218
Date
1977
Note
2
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
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Date de création de la notice
2009-05-12