Micro-hotplates on polyimide for sensors et actuators
2006
Détails
Titre
Micro-hotplates on polyimide for sensors et actuators
Auteur(s)
Briand, D. ; Colin, S. ; Gangadharaiah, A. ; Vela, E. ; Dubois, P. ; Thiery, L. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
Sensors and Actuators A
Volume
132
Pages
317-324
Date
2006
Note
383
Autres identifiant(s)
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DAR: 9769
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Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
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Date de création de la notice
2009-05-12