Photoresist-assisted micromechanial-component transfer technique
1999
Détails
Titre
Photoresist-assisted micromechanial-component transfer technique
Auteur(s)
Akiyama, T. ; Balmer, P. ; Staufer, U. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
Transducers'99 10th Internat. Conf. on Solid-State Sensors and Actuators
Pages
1162-1165
Date
1999
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12