Quick and Clean: Stencil Lithography for Wafer-Scale Fabrication of Superconducting Tunnel Junctions
2008
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Détails
Titre
Quick and Clean: Stencil Lithography for Wafer-Scale Fabrication of Superconducting Tunnel Junctions
Auteur(s)
Savu, V. ; Brugger, J. ; Kivioja, J. ; Ahopelto, J.
Publié dans
Applied Superconductivity Conference 2008 (ASC 2008)
Présenté à
Applied Superconductivity Conference 2008 (ASC 2008), Chicago, Illinois USA, August 17-22 2008
Date
2008
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Laboratoires
LMIS1
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Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMIS1 - Laboratoire de microsystèmes 1
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Date de création de la notice
2009-03-02