Towards the correlation of mechanical properties and sawing parameters of silicon wafers
2007
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Détails
Titre
Towards the correlation of mechanical properties and sawing parameters of silicon wafers
Auteur(s)
Bidiville, A. ; Wasmer, K. ; Michler, J. ; Ballif, C. ; van der Meer, Mathijs Pieter ; Nasch, P.M.
Date
2007
Note
IMT-NE Number: 471
Laboratoires
PV-LAB
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Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > PV-LAB - Laboratoire de photovoltaïque et couches minces électroniques
Production scientifique et compétences > Partenaires EPFL > Campus Neuchâtel > PV-Lab - Laboratoire de photovoltaïque et couches minces électroniques
Publications validées par des pairs
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-02-10