Origins of Atmospheric Contaminations in Amorphous Silicon prepared by Very High Frequency (70 MHz) Glow Discharge
1995
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Détails
Titre
Origins of Atmospheric Contaminations in Amorphous Silicon prepared by Very High Frequency (70 MHz) Glow Discharge
Auteur(s)
Kroll, U. ; Meier, J. ; Keppner, H. ; Littlewood, S. D. ; Kelly, I. E. ; Giannoulès, P. ; Shah, A.
Publié dans
Journal of Vacuum Science & Technology A
Volume
13
Pages
2742-2746
Date
1995
Note
IMT-NE Number: 215
Laboratoires
PV-LAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > PV-LAB - Laboratoire de photovoltaïque et couches minces électroniques
Production scientifique et compétences > Partenaires EPFL > Campus Neuchâtel > PV-Lab - Laboratoire de photovoltaïque et couches minces électroniques
Publications validées par des pairs
Travail hors EPFL
Articles de journaux
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Date de création de la notice
2009-02-10