Nanomechanical mass sensor for monitoring deposition rates through confined apertures
2009
Files
Détails
Titre
Nanomechanical mass sensor for monitoring deposition rates through confined apertures
Auteur(s)
Arcamone, J. ; Sansa, M. ; Verd, J. ; Uranga, A. ; Abadal, G. ; Barniol, N. ; van den Boogaart, M.A.F. ; Brugger, J. ; Perez-Murano, F.
Présenté à
The 4th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS), Shenzhen, China, January 5-8, 2009
Date
2009
Laboratoires
LMIS1
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMIS1 - Laboratoire de microsystèmes 1
Travail produit à l'EPFL
Publié
Posters
Travail produit à l'EPFL
Publié
Posters
Date de création de la notice
2009-01-26