Nanopatterned Self-Assembled Monolayers by Using Diblock Copolymer Micelles as Nanometer-Scale Adsorption and Etch Masks
2008
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Détails
Titre
Nanopatterned Self-Assembled Monolayers by Using Diblock Copolymer Micelles as Nanometer-Scale Adsorption and Etch Masks
Auteur(s)
Krishnamoorthy, Sivashankar ; Pugin, Raphael ; Brugger, Juergen ; Heinzelmann, Harry ; Hinderling, Christian
Publié dans
Advanced Materials
Volume
20
Numéro
10
Pages
1962-1965
Date
2008
Autres identifiant(s)
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Laboratoires
LMIS1
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMIS1 - Laboratoire de microsystèmes 1
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Travail produit à l'EPFL
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Date de création de la notice
2008-05-15