Elimination of electromagnetic non-uniformities in large-area RF plasma reactors used for thin-film deposition


Présenté à:
Société Suisse de Physique
Année
2004
Note:
Société Suisse de Physique, SPS Annual Meeting, Neuchâtel, 4 mars 2004
Laboratoires:
SPC
CRPP




 Notice créée le 2008-05-13, modifiée le 2019-02-28


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