Consequences of non-uniform RF plasma potential in large-area capacitive reactors


Présenté à:
16th International Symposium on Plasma Chemistry
Année
2003
Note:
16th International Symposium on Plasma Chemistry, Taormina, Italy, June 2003
Laboratoires:
SPC
CRPP




 Notice créée le 2008-05-13, modifiée le 2020-07-30


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