Détails
Titre
Insitu gas phase and particle diagnostics of hexamethyldisiloxane rf plasmas
Auteur(s)
Magni, D.
Présenté à
Société Suisse de Physique, Montreux, Printemps 2000
Date
2000
Laboratoires
CRPP
SPC
SPC
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Publié
Date de création de la notice
2008-05-13