Genèse, croissance et conséquences de particules dans les plasmas en Silane à basse pression et basse température
1996
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Détails
Titre
Genèse, croissance et conséquences de particules dans les plasmas en Silane à basse pression et basse température
Auteur(s)
Dorier, J.-L.
Date
1996
Mots-clés (libres)
Laboratoires
CRPP
SPC
SPC
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
Travail produit à l'EPFL
Rapports techniques
Publié
Travail produit à l'EPFL
Rapports techniques
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Date de création de la notice
2008-04-18