Negative hydrogenated silicon ion clusters as particle precursors in rf silane plasma deposition experiments
1993
Fichiers
Détails
Titre
Negative hydrogenated silicon ion clusters as particle precursors in rf silane plasma deposition experiments
Auteur(s)
Howling, A.A. ; Sansonnens, L. ; Dorier, J.-L. ; Hollenstein, Ch.
Date
1993
Mots-clés (libres)
Laboratoires
CRPP
SPC
SPC
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
Travail produit à l'EPFL
Rapports techniques
Publié
Travail produit à l'EPFL
Rapports techniques
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Date de création de la notice
2008-04-18