Piezoelectric thin films: Evaluation of electrical and electromechanical characteristics for MEMS devices


Publié dans:
Ieee Transactions On Ultrasonics Ferroelectrics And Frequency Control, 54, 1, 8-14
Année
2007
Note:
0885-3010
Autres identifiants:
Laboratoires:




 Notice créée le 2007-10-18, modifiée le 2018-12-03


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