Novel Technique for Nanograin Ultra-Thin Polysilicon Film Deposition and Implantation
2003
Détails
Titre
Novel Technique for Nanograin Ultra-Thin Polysilicon Film Deposition and Implantation
Auteur(s)
Ecoffey, S. ; Bouvet, D. ; Fazan, P. ; Tringe, J. ; Ionescu, A. M.
Publié dans
2003 International Semiconductor Conference. CAS 2003 Proceedings
Volume
1
Pages
47-50
Date
2003
Autres identifiant(s)
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Laboratoires
NANOLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > NANOLAB - Laboratoire des dispositifs nanoélectroniques
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Date de création de la notice
2007-10-10