LPCVD deposition of nanograin polysilicon ultra-thin films
2002
Détails
Titre
LPCVD deposition of nanograin polysilicon ultra-thin films
Auteur(s)
Ecoffey, S. ; Bouvet, D. ; Ionescu, A. M. ; Fazan, P.
Publié dans
Journal of Nanotechnology
Volume
13
Numéro
3
Pages
290-293
Date
2002
Laboratoires
NANOLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > NANOLAB - Laboratoire des dispositifs nanoélectroniques
Publications validées par des pairs
Travail produit à l'EPFL
Articles de journaux
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Date de création de la notice
2007-10-10