Unconventional micro/nano patterning method combining shadow-mask pattern and micro-contact printing
2002
Résumé
not available
Détails
Titre
Unconventional micro/nano patterning method combining shadow-mask pattern and micro-contact printing
Auteur(s)
Kim, B J ; Kim, G M ; Lathika, S T ; Brugger, J
Présenté à
1st International conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology, San Francisco, USA, 11-13 Dec, 2002
Date
2002
Laboratoires
LMIS1
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMIS1 - Laboratoire de microsystèmes 1
Présentations & Talks
Travail produit à l'EPFL
Publié
Présentations & Talks
Travail produit à l'EPFL
Publié
Date de création de la notice
2007-03-02