Loading...
research article
Influence de l'énergie des ions et de la température de l'objet lors de l'amincissement par bombardement ionique de GaAs
Effect ion energy and object temperature on thinning by ion bombardment of GaAs
Loading...
Name
Helvetica_Physica_Acta_1988_61_853_856.pdf
Type
Publisher's version
Access type
openaccess
Size
6.18 MB
Format
Adobe PDF
Checksum (MD5)
7657257cbe8450079b07555bfd4d13a3