Le but de ce projet est de réaliser un capteur de température élevée (>1000°C), résistant aux environnements hostiles et de dimensions micrométriques. Pour cela, les vibrations d’un levier en céramique sont mesurées par un système de détection capacitif. Le premier défi de ce projet réside dans le choix des matériaux. Leur résistance et leur fiabilité dans les températures élevées sont les premiers critères de sélection. Ces matériaux doivent également être adéquats pour la microfabrication. Les premiers candidats sont bien évidement les céramiques. Une nouvelle approche, concernant la microfabrication de ces céramiques est ici considérée. Elle consiste à utiliser les polysilazanes, une famille de polymère plus connue sous le nom de « Ceramic Precursors ». La particularité de ces polymères est qu’il est possible d’en obtenir des structures en céramique en appliquant un traitement thermique approprié. La première phase de ce projet consiste à mettre en place une procédure de fabrication basée sur l’utilisation des précurseurs de céramique. Les objectifs sont donc : 1. De choisir les matériaux céramiques adaptés et les précurseurs disponibles pour ces matériaux, 2. D’évaluer les différentes méthodes de microfabrication, 3. De déterminer les paramètres de chaque procédure et les optimiser, 4. De caractériser les structures en céramique obtenues par ces différentes méthodes. Les techniques telles que la sérigraphie, le micro-moulage et la photolithographie seraient appropriées. Ce sont pour l’instant ces trois méthodes que nous évaluons dans ce projet. Les expériences sont en cours et ce projet est en phase de développement. Nous espérons donc avoir très prochainement des résultats intéressants à présenter.