Vers la manipulation sans contact de composants MEMS pour les systèmes de production

Wüthrich, RolfSegovia, R.2006-06-092006-06-092006-06-091999https://infoscience.epfl.ch/handle/20.500.14299/230391MEMSmicroengineeringrobotics[MICRO]Vers la manipulation sans contact de composants MEMS pour les systèmes de productiontext::conference output::conference paper not in proceedings